近期，中国科学院微电子研究所硅光子平台完成了平台工艺设计工具包（PDK），与深圳逍遥科技有限公司光电芯片全流程设计自动化平台PIC Studio的集成，助力于微电子所硅光子平台的多样性。

硅光子技术是利用成熟的CMOS平台和技术，采用硅基材料进行光电器件和芯片的开发与生产。该技术是后摩尔时代微电子跨领域发展的方向之一，也是光电子走向大规模集成的必然途径。硅光子不仅在现阶段的光通信、光互连领域有迫切的应用需求，在未来的芯片内光互连和光计算机上都有重要的应用前景。

(资料图)

中国科学院微电子研究所硅光子平台基于微电子所先导中心成熟的8英寸CMOS工艺线，该CMOS工艺线支撑开发了成套硅光工艺和器件，制定了设计规则和工艺规范，并形成了PDK。该硅光子平台已为280多个客户提供了20批次MPW流片服务和约70次定制化流片服务，得到了业内人士的高度评价。为了进一步扩大平台能力和规范服务流程，该硅光子平近期与深圳逍遥科技有限公司合作，将PDK内容与其设计平台PIC Studio进行集成。

PIC Studio工具链包括pLogic原理图工具、Advanced SDL原理驱动版图生成工具、pSim链路仿真工具和PhotoCAD版图设计工具。pSim仿真支持基于测量的物理模型和工艺容忍度分析，提供实用的波导、电子和光子器件库，用于频域和眼图分析。与第三方软件集成可支持从FDTD器件求解到系统仿真以及Electrical-Optical-Electrical (E-O-E)光电联合设计仿真流程。通过使用微电子所硅光平台PDK所提供的器件库，用戶可以方便且灵活地进行符合平台规范的硅光芯片设计。这改变了我国硅光子流片在过去基本依赖国外平台的局面，为我国的硅光子技术研究和产品研发提供了强大的支持。

基于上述技术集成，微电子所硅光子平台将为客户提供更为便捷、灵活的产品设计方案，大大提高设计效率，有利于客户的产品更快地投入到市场。

关于中国科学院微电子研究所：

微电子所成立于1958年，是我国微电子科学技术与集成电路领域的重要研发机构。微电子所在半导体器件与集成电路制造、集成电路设计与应用、集成电路装备等领域展开科研工作，设有13个研发单元，具备从原理器件、集成工艺、制造装备到核心芯片开发的全链条、体系化科技创新与关键核心技术攻关能力。微电子所将秉承“惟精惟一、求是求新”的所训，聚焦国家重大战略需求，加快提升原始创新能力，加快突破关键核心技术，砥砺奋进、开拓创新，为实现我国集成电路领域科技自立自强不断做出新的贡献。

关于逍遥科技：

逍遥科技是一家致力于为“特色工艺”半导体芯片设计提供自动化解决方案的创新型企业。特色工艺半导体芯片应用领域广泛，包括光电子、功率器件、MEMS/智能传感、模拟/射频芯片等。由于芯片版图布线方式、标准参数化单元（PCell）、特征尺寸、材料对信号传输的影响等等方面，与数字电路芯片存在较大差异，传统EDA工具难以满足特色工艺芯片的设计需求。

逍遥科技集结了一支拥有专业EDA背景的资深团队。基于多年在特色工艺芯片设计自动化领域的需求分析、方法论研究、产品规划与开发实践经验，我们与行业客户紧密合作，研发出满足行业需求的EDA全流程解决方案。部分功能不仅填补了“特色工艺”EDA在国内的空白，更在行业中处于领先地位。

逍遥科技正在与国内外晶圆代工厂及中试线通力合作，致力于建立PDK设计套件，以实现芯片从设计到流片的全流程。逍遥科技将与广大业界同行一起努力，加速实现EDA软件的国产化进程，突破EDA软件的“卡脖子”状态！为中国半导体产业的发展贡献力量。

延伸阅读：《半导体光子集成电路（PIC）技术及市场-2022版》